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技術名稱:預約媒合

提升水下超音波發射接收陣列感測元件偵測度及良率應用於水下目標物影像擷取系統之研發
Research on the Detection and Measurement of Underwater Ultrasonic Emission Receiver Array Sensing Element Detection and Application to Underwater Target Image Acquisition System

單位名稱:

國立臺灣海洋大學
National Taiwan Ocean University

技術說明:

近年隨著微機電系統技術的成熟,早期使用壓電陶瓷片製作超音波感測元件 之技術到現今已多利用薄膜來製作超音波感測元件,而薄膜超音波感測元件更由原 本背蝕刻的技術進步到利用犧牲層技術建構微橋結構來提升元件之靈敏度,這些 薄膜式感測元件有方便製作及面積小數量多的優點,在市場上有很好的發展潛力。

本研究之超音波感測元件藉由鋯鈦酸鉛的壓電特性來當作元件的主要材料, 並以鋯鈦酸鉛薄膜厚度 870nm、1300nm、1740nm的改 變對超音波元件進行特性分析,在 PZT 薄膜厚度改變下得知薄膜厚度越厚其元件 共振頻率並無明顯變化,介電常數則會隨著厚度增加有較好的介電值,元件接收 強度及元件靈敏度方面也會隨薄膜厚度增加有較好的特性,而本研究以薄膜厚 度為 1740nm 進行量測時,在 11.5MHz 有最強訊號強度 225mV 之數值。

發明人:

張忠誠 教授

連絡資訊:

羅晏如 24622192